報告時間：2015年4月22日15：00
報告地點：新主樓B506
報告人：Prof. Zhou Wei, School of Mechanical & Aerospace Engineering, Nanyang Technological University, Singapore
報告摘要：
納米尺度的結構有很多應用。光學投影刻蝕技術可以用來生產(chǎn)特征尺寸遠低于100nm的材料。然而，刻蝕技術存在的難度、耗費的時間、過高的成本、設計和掩體的修復等問題，使得OPL技術不適合探索納米結構的創(chuàng)新應用。我們成功使用30-50 keV Ga+聚焦離子束(FIB)作為一次無掩模無阻抗納米制備工具，制作了納米尺度的周期性柱狀物，方格和光柵。我們針對各種材料做了研究(包括純金屬，半導體元素及其化合物)，確定了表面圖案自發(fā)形成機理。我們成功地提出現(xiàn)象模型，通過使用原位實時次級離子和二次電子成像技術監(jiān)測表面圖案演化模式，來描述一些納米結構的自組裝機理。最后，給出有關納米結構用于特定站點的材料微觀分析和制造新型納米等離子體透鏡制造的實例。
Nanoscale structures have many applications. The form of lithography used in the semiconductor industry, optical projection lithography (OPL), can be used to produce feature sizes well below 100 nm. However, the difficulty, time, and prohibitively high cost associated with designing and repairing a mask makes OPL unsuitable for exploring innovative applications of nanostructures. We demonstrate the successful use of 30-50 keV Ga+ Focused Ion Beam (FIB) as a one-step maskless and resistless nanofabrication tool for making nanoscale periodic pillars, wells, and gratings. We studied a wide range of materials (including pure metals, semiconductor elements and compounds) and identified the major causes for the spontaneous formation of surface patterns. We succeeded in putting forward phenomenogical model describing mechanisms of self-organization for some of the nanostructures through monitoring evolution of the surface patterns using in-situ real-time secondary ion and secondary electron imaging. Finally, examples are given on use of the nanostructures for site-specific microscopic analyses of materials and for making a novel plasmonic nano-lens.
報告人簡介：
周偉博士是南洋理工大學(NTU)機械宇航學院終身教授，新加坡國家標準化ISO/TC 技術委員會主席，新加坡焊接協(xié)會(Singapore Welding Society, SWS)會士(Fellow)、副主席。1987年畢業(yè)于清華大學機械系，1991年獲頒劍橋大學博士學位，1992年受聘為德國弗瑯荷費材料力學研究所客座研究員，1992年至今在新加坡南洋理工大學任教，于2008年初受聘為終身教授，并擔任機械宇航學院精密加工及納米制造技術中心主任多年，2002年3月至12月任哈佛大學訪問學者，2013年12月至2014年6月任劍橋大學丘吉爾學院訪問院士。周偉教授長期從事先進材料與精密加工等方面的研究和人才培養(yǎng)，多次作為首席科學家承擔先進電子封裝技術、超輕鎂合金研發(fā)、納米制造以及增材制造技術等項目，先后培養(yǎng)了二十余名博士后和博士研究生。在國際期刊上發(fā)表及國際會議上宣讀的論文200余篇，其中SCI論文140余篇，他引3000次（最高單篇引用達400多次）。
